クリーンルーム、接続、ツール設置

    Fab向けのコミッショニングソフトウェア ツール設置は12の設備システムに依存します。

    ファブとは、設備プロジェクトとツール設置プログラムが同時に進行するものです。Deskelyは、クリーンルーム、超純水、バルクガスおよび特殊ガス、排気、冷水、電力をサブシステムとして追跡し、各ツール接続をそれらに依存する資産として管理します。

    設備
    UPW、ガス、排気、電力
    ユニット
    ツールとフックアップ
    制約
    クリーンルームプロトコル
    ゲート
    プロセスへのツールリリース
    FAB 1 — BAY 14HOOK-UP SET · REV 4FAB 1 — BAY 14ETCH-03LITHO-07CVD-11SUB-FAB — 施設サービスUPWCDA / VAC特殊ガス排気抑制ツール LITHO-07 — フックアップSG-SIH4-03 純度保留中タグレジスターLITHO-07リソグラフィーツール署名済み記録UPW-B14UPWブランチ、ベイ14テスト中SG-SIH4-03シラン供給ライン保全EX-ACID-11酸排気分岐未解決のパンチ310ツール単一のシステム階層の下で

    課題

    ツール設置は設備を待機中、 そして、どれが正しいか誰も同意しません。

    各ツールには、バルクガスと特殊ガス、UPW、排気と汚染防止、冷水、真空、電力の特定の組み合わせが必要です。設備請負業者は自身のシステムを、ツールベンダーは自身のツールを理解していますが、接続日まで両者の接点を把握している者はいません。

    その結果、まだ対応できないベイにツールが納品され、結線作業員が待機することになります。

    Deskelyは、ツールレベルのユーティリティ依存関係を施設サブシステムに対して保持します。これにより、ベイの準備状況は会議ではなくクエリとして確認できます。

    誰もその接点を持っていませんツール設置 対 設備システム各ツールには、ガス、水、排気、電力の特定の組み合わせが必要です。ツールベンダーツールを理解している設備請負業者システムを理解しているギャップツール依存関係 対 設備準備状況UPW供給 — ベイ4ベイ準備完了特殊ガス — シランラインベイ準備未完了プロセス排気と汚染防止ベイ準備完了真空および冷水ベイ準備未完了サポートできないベイに納入されたツール4件中2件納品時に未解決の依存関係ベイ準備状況(会議ではなくクエリ)Deskelyは、ツールレベルのユーティリティ依存関係を施設サブシステムに対して保持します。

    レジスターの設定

    設備システムおよびツール 同じレジスターに登録されています。

    超純水、バルクガス、特殊ガス、排気・排出処理、プロセス冷却、真空、電力は、それぞれ独自の記録セットと完了パスを持つサブシステムです。

    ツールは、接続、インターロック、監視および安全装置など、フックアップ範囲を持つ資産であり、それぞれタグ付けされ、テストされます。

    図面とスケジュールはその構造に解析されるため、誰も並行するリストを管理する必要がありません。

    1 · ソースドキュメント設備P&ID rev 462枚ツールリストとフックアップスコ…310ツール特殊ガススケジュール48ライン排気および除害ラ…180ブランチ解析 + 照合タグ · 説明 · 図面参照2 · ONEタグレジスターLITHO-07リソグラフィーツールBAY 14UPW-B14UPWブランチ、ベイ14設備SG-SIH4-03シラン供給ライン特殊ガスEX-ACID-11酸排気分岐排気2つの文書の不一致設備P&ID再…シラン供給ラインツールリストとフッ…略語説明エンジニアがソースを選択決定を記録済み数週間の転記作業を経て、エンジニアがレビューする草案が作成されます。

    実行

    フックアップと検証 クリーンルームプロトコルに基づき記録されます。

    タブレットを使った現場での記録は、紙よりもガウン着用作業に非常に適しています。フォームは作業現場で記入され、重要な箇所には写真や測定値が添付されます。

    リークチェック、純度結果、インターロックテスト、および安全検証は、ツールとその接続に対して実施されます。

    パンチ項目は、ツールリリースを妨げるかどうかで分類されるため、フックアップキューは結果に基づいて優先順位付けされます。

    ツールリリースまでのフックアップツール ETCH-14、ベイ 4設備サブシステムの可用性承認済みフックアップ — 接続、インターロック承認済みリーク、純度、インターロック検証進行中リリースへの影響度で分類されたパンチ項目先行タスク待ちツールはプロセスにリリースされました先行タスク待ち5件中2件このツールのリリースステップはクリアされました0インターロックテストが未完了のままリリースされたツールツールは、その設備依存関係が承認された場合にのみプロセスにリリースされます。

    ツールリリース

    ツールはプロセスにリリースされます その依存関係が承認された場合。

    リリースは、設備サブシステムが利用可能であり、フックアップ記録セットが完了していることに依存し、どちらもデータから強制されます。

    ツールごとの証拠パックは、インストール履歴がそのままプロセス組織に渡されます。

    このパックは、その後の移設、アップグレード、および再認定もサポートします。

    LITHO-07 — リリースラダー設備サブシステムでゲートされたフックアップ設定ツール設定とレベル調整11月03日発行設置と水平出し許容範囲内耐震アンカレッジ署名済みHUフックアップ完了ブロック済み — ガスラインUPW、CDA、真空接続およびテスト済み特殊ガス SG-SIH4-03純度保留中RELプロセスへのツールリリースブロック済み — フックアップインターロックテスト未署名ブロッキングパンチ3件オープン

    粒子および汚染管理

    ツールは機械的および電気的に完成させることができます そして、ベイがパーティクル数を維持できないため、依然としてリリースに失敗します。

    Fabの承認には、従来の生産ラインにはないテストカテゴリが含まれます。ツールが機械的完成(MC)した後数ヶ月経ってから、竣工時、稼働時のツール設置場所における空中浮遊粒子数を実証する必要があり、たった1つの不適合がシーラント、フィルター、またはクリーンルーム着用手順の違反に起因する場合があります。

    UPWの抵抗率、TOC、粒子数、および特殊ガスの純度はすべて、分配ヘッダーだけでなく、使用時点(ツールの接続部)で証明される必要があります。クリーンなヘッダーが汚染されたドロップラインに供給している場合、UPWシステムがないのと機能的に変わりがないためです。

    Deskelyでは、粒子数測定結果、超純水の使用点検証、特殊ガスの純度記録を、それらが適合する特定のツール接続に関連付けて、機械的な接続記録と共に保持するため、リリース決定は機械的なチェックリスト単独ではなく、汚染管理の全体像に基づいて行われます。

    ツールと設備の依存関係マップツール ETCH-14、ベイ 4このツールが必要とする設備サブシステム超純水、ベイ4支線利用可能特殊ガス — シランライン準備ができていないプロセス排気と汚染防止利用可能真空および冷水利用可能ベイの準備状況は、これらのサブシステムに対するクエリであり、調整会議ではありません。フックアップ証拠、ガウン着用での撮影リークチェック、すべてのプロセス接続純度結果、ガス供給ラインインターロックテスト、EMOおよびガスキャビネットリリースへの影響度で分類されたパンチ項目4件中3件設備サブシステム準備完了, ETCH-141ツールリリースを保留している依存関係リリースはデータに依存し、ベイのウォークダウンには依存しません。

    動作方法

    ベース構築からツール実行プロセスまで。

    Fabのスケジュールは依存関係管理が支配的であり、これこそが構造化されたレジスターの目的です。

    1. 01

      設備サブシステムをモデル化

      UPW、バルク・特殊ガス、排気、プロセス冷却、真空、電力を個別のパスとして。

    2. 02

      ツールとフックアップを登録する

      各ツールは、その接続、インターロック、監視、安全装置がタグ付けされています。

    3. 03

      ユーティリティの依存関係をマッピングします

      ベイの準備状況を明確にするため、設備サブシステムに対してツールレベルの前提条件が記録されています。

    4. 04

      タブレットでガウン着用の上で実行します

      クリーンルームプロトコルに基づき、ツールで捕捉されたフックアップ、リーク、純度、インターロックチェック。

    5. 05

      リリース別にパンチを分類

      ツールリリースをブロックするか否かでマークされた項目(所有者、日付付き)。

    6. 06

      エビデンスを伴うツールのリリース

      署名済み記録から発行されたリリース証明書と、ツールごとのパックがプロセスに引き渡されます。

    よくあるご質問

    ~に関する質問 半導体製造工場 スコープ。

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