プロジェクトタイプを選択してください
課題
ツール設置は設備を待機中、 そして、どれが正しいか誰も同意しません。
各ツールには、バルクガスと特殊ガス、UPW、排気と汚染防止、冷水、真空、電力の特定の組み合わせが必要です。設備請負業者は自身のシステムを、ツールベンダーは自身のツールを理解していますが、接続日まで両者の接点を把握している者はいません。
その結果、まだ対応できないベイにツールが納品され、結線作業員が待機することになります。
Deskelyは、ツールレベルのユーティリティ依存関係を施設サブシステムに対して保持します。これにより、ベイの準備状況は会議ではなくクエリとして確認できます。
レジスターの設定
設備システムおよびツール 同じレジスターに登録されています。
超純水、バルクガス、特殊ガス、排気・排出処理、プロセス冷却、真空、電力は、それぞれ独自の記録セットと完了パスを持つサブシステムです。
ツールは、接続、インターロック、監視および安全装置など、フックアップ範囲を持つ資産であり、それぞれタグ付けされ、テストされます。
図面とスケジュールはその構造に解析されるため、誰も並行するリストを管理する必要がありません。
実行
フックアップと検証 クリーンルームプロトコルに基づき記録されます。
タブレットを使った現場での記録は、紙よりもガウン着用作業に非常に適しています。フォームは作業現場で記入され、重要な箇所には写真や測定値が添付されます。
リークチェック、純度結果、インターロックテスト、および安全検証は、ツールとその接続に対して実施されます。
パンチ項目は、ツールリリースを妨げるかどうかで分類されるため、フックアップキューは結果に基づいて優先順位付けされます。
ツールリリース
ツールはプロセスにリリースされます その依存関係が承認された場合。
リリースは、設備サブシステムが利用可能であり、フックアップ記録セットが完了していることに依存し、どちらもデータから強制されます。
ツールごとの証拠パックは、インストール履歴がそのままプロセス組織に渡されます。
このパックは、その後の移設、アップグレード、および再認定もサポートします。
粒子および汚染管理
ツールは機械的および電気的に完成させることができます そして、ベイがパーティクル数を維持できないため、依然としてリリースに失敗します。
Fabの承認には、従来の生産ラインにはないテストカテゴリが含まれます。ツールが機械的完成(MC)した後数ヶ月経ってから、竣工時、稼働時のツール設置場所における空中浮遊粒子数を実証する必要があり、たった1つの不適合がシーラント、フィルター、またはクリーンルーム着用手順の違反に起因する場合があります。
UPWの抵抗率、TOC、粒子数、および特殊ガスの純度はすべて、分配ヘッダーだけでなく、使用時点(ツールの接続部)で証明される必要があります。クリーンなヘッダーが汚染されたドロップラインに供給している場合、UPWシステムがないのと機能的に変わりがないためです。
Deskelyでは、粒子数測定結果、超純水の使用点検証、特殊ガスの純度記録を、それらが適合する特定のツール接続に関連付けて、機械的な接続記録と共に保持するため、リリース決定は機械的なチェックリスト単独ではなく、汚染管理の全体像に基づいて行われます。
動作方法
ベース構築からツール実行プロセスまで。
Fabのスケジュールは依存関係管理が支配的であり、これこそが構造化されたレジスターの目的です。
- 01
設備サブシステムをモデル化
UPW、バルク・特殊ガス、排気、プロセス冷却、真空、電力を個別のパスとして。
- 02
ツールとフックアップを登録する
各ツールは、その接続、インターロック、監視、安全装置がタグ付けされています。
- 03
ユーティリティの依存関係をマッピングします
ベイの準備状況を明確にするため、設備サブシステムに対してツールレベルの前提条件が記録されています。
- 04
タブレットでガウン着用の上で実行します
クリーンルームプロトコルに基づき、ツールで捕捉されたフックアップ、リーク、純度、インターロックチェック。
- 05
リリース別にパンチを分類
ツールリリースをブロックするか否かでマークされた項目(所有者、日付付き)。
- 06
エビデンスを伴うツールのリリース
署名済み記録から発行されたリリース証明書と、ツールごとのパックがプロセスに引き渡されます。
よくあるご質問
~に関する質問 半導体製造工場 スコープ。
続きを読む
製造コミッショニング
セクターの全体像:資産台帳、FATおよびSATの証拠、パンチリスト、およびライン受入れ。
詳細を見るウォークダウン
SAT前および受入前検査は、現場でパンチリスト項目を発生させる構造化されたウォークダウンとして実施されます。
詳細を見るAI図面解析
レビュー済みの資産登録簿に変換されたレイアウト、機器リスト、およびI/Oスケジュール。
詳細を見るその他の製造プロジェクトの種類: 新設プラントおよび新工場, 生産ラインの設置とSAT, 自動車の車体、塗装、組み立て, 食品、飲料および衛生的プロセス, 製薬・ライフサイエンス施設, バッテリーギガファクトリーとセルプラント, 倉庫自動化とイントラロジスティクス, パルプ、紙、鉄鋼、重工業プロセス, ブラウンフィールドアップグレードとライン移設.